分子真空泵工作原理及結(jié)構(gòu)圖

隨著我國的經(jīng)濟(jì)不斷的發(fā)展，對于真空泵領(lǐng)域來說，其面臨著巨大的市場，同時(shí)也需要面對巨大的挑戰(zhàn)，如何能夠讓這些產(chǎn)品適應(yīng)我們經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，對于各類產(chǎn)品而言，了解其工作原理是最基礎(chǔ)的工作。相關(guān)工作人員可以進(jìn)一步研究相關(guān)的課題。

分子真空泵的抽氣原理主要是利用了動量傳遞原理，使分子做定向流動而氣體被排出泵外，從而實(shí)現(xiàn)抽氣的目的。了解分子真空泵的工作原理對于最高效率的使用這款產(chǎn)品意義非凡，接下來主要介紹分子真空泵是如何進(jìn)行工作。

分子真空泵在電機(jī)的帶動下做高速旋轉(zhuǎn)，采用變頻電源驅(qū)動電機(jī)，這樣的目的是希望能夠?qū)崿F(xiàn)較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動方向上，產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。

通常把用高速運(yùn)動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象，利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子真空泵。牽引分子真空泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子真空泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故降，而且制造困難，實(shí)際上很少應(yīng)用。后來對牽引分子真空泵進(jìn)行了改進(jìn)，出現(xiàn)了渦輪分子真空泵。

渦輪分子真空泵內(nèi)有多組相間動輪葉和定輪葉，每一個(gè)輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片，。實(shí)際的渦輪分子真空泵都是由多級葉列串聯(lián)組成，即按動片、定片、動片等依次交替排列。動葉片轉(zhuǎn)動時(shí)又類似于電風(fēng)扇葉片的作用，能將氣體從一側(cè)抽到另一側(cè)。提高分子真空泵的轉(zhuǎn)速，有利于提高分子真空泵的抽速。由于葉片轉(zhuǎn)速限制，如果氣體分子運(yùn)動速度較大，泵抽真空就比較困難。渦輪分子真空泵極限真空比擴(kuò)散泵要更高，可達(dá)10-8pa。但是其正常工作時(shí)需要一定的前級真空度，其真空度高低視泵不同略有差異。